Высокочастотный Разряд
ВЫСОКОЧАСТОТНЫЙ РАЗРЯД, электрический разряд в газе, возникающий в электрическом поле высокой частоты. По способу подведения энергии различают: электродный, безэлектродный, одноэлектродный, СВЧразряд в объемных резонаторах и радиоволноводах.
ВЫСОКОЧАСТОТНЫЙ РАЗРЯД, электрический разряд в газе, возникающий в электрическом поле высокой частоты. По способу подведения энергии различают: электродный, безэлектродный, одноэлектродный, СВЧразряд в объемных резонаторах и радиоволноводах.